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| 名称:三氟化氮 型号: | | | | |
三氟化氮NF3
商品详细介绍 |
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A colorless,toxic,nonflammable,oxidizing,high pressure gas. (一种无色、有毒、不燃、具有氧化性的高压气体) |
Formula(分子式): |
NF3 |
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Molecular weight(分子量): |
71.02g/mol |
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Boiling point(沸点): |
-73℃ |
-99.4°F |
Melting point(熔点): |
-168℃ |
-270.4°F |
Vapor pressure(蒸汽压): |
9997KPa(21.1℃) |
1450Psia(70°F) |
Specific volume(比容): |
0.34m3/kg(21.1℃,101.325KPa) |
5.4ft3/lb(70°F,14.696psia) |
Threshold Limit Value(人体的最高容许浓度): |
10ppm |
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UN Number(UN号码): |
UN2451 |
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DOT Classification(DOT类别): |
2.2(Nonflammable Gas)(不燃气体) |
DOT Lable(DOT标签): |
Non-flammable gas (不燃气体) |
Grsde(级别): |
4N |
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Purity(纯度): |
99.99% |
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纯度规格 |
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Impurity(非组分): |
Specification(标准) |
Oxygen(氧): |
≤10.0 ppmv |
Nitrogen(氮): |
≤10.0 ppmv |
Carbon Dioxide(二氧化碳): |
≤10.0 ppmv |
Carbon Tetrafluoride(四氟化碳): |
≤40.0 ppmv |
Water(水): |
≤1.0 ppmv |
Acidity as HF(酸化物,如氟化氢): |
≤5.0 ppmv |
Nitrous Oxide(氧化亚氮) |
≤10.0 ppmv |
包装 |
容积 |
重量 |
连接阀门 |
小钢瓶 |
44L |
20Kg |
CGA640 |
应用:等离子刻蚀;硅、氮化硅、钨·硅化合物和钨薄膜的刻蚀;CVD炉室清洗
| | 点击次数:2681 | |
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