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| 名称:超纯氨气 型号: | | | | |
高纯氨
高纯氨主要应用于新型光电子材料领域,是MOCVD技术制备GAN的重要基础材料。由GAN生产高灵敏度蓝光发光二级管和蓝光激光器,以及其它相关电子器件,是国内外都在抢占的产业。高纯氨还是制备三氟化氮、氮化硅、的基础材料,是生产超高级氮的原料气。此外,液氨广泛地应用于半导体工业、冶金工业,以及需要保护气氛的其他工业和科学研究中。
商品详细介绍 |
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A colorless,toxic,flammable,corrosive,liquefied gas.(一种无色,有毒,可燃,具腐蚀性的可液化气体) |
Formula(分子式): |
NH3 |
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Molecular weight(分子量): |
17.03g/mol |
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Boiling point(沸点): |
-33.4℃ |
28.1°F |
Melting point(熔点): |
-77.7℃ |
107.9°F |
Vapor pressure(蒸汽压): |
888KPa(21.1℃) |
129Psia(70°F) |
Specific volume(比容): |
1.41m3/kg(21.1℃,101.325KPa) |
22.6ft3/lb(70°F,14.696psia) |
Lower Flammable Limit(最低可燃性含量): |
15% |
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Upper Flammable Limit(最高可燃性含量): |
30% |
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Threshold Limit Value(人体的最高容许浓度): |
25ppm |
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DOT Classification(DOT类别): |
2.2(Flammable Gas)(可燃性气体) |
DOT Lable(DOT标签): |
FLAMMABLE GAS(可燃性气体) |
电子工业用气体 氨(GB/T14601-2009) |
项目名称 |
电子级 |
光电子级 |
氨(NH3)纯度(体积分数)/10-2 ≥ |
99.9995 |
99.99994 |
氧(O2)含量(体积分数)/10-6 < |
1 |
0.1 |
氮(N2)含量(体积分数)/10-6 < |
1 |
— |
氢(H2)含量(体积分数)/10-6 < |
— |
0.1 |
一氧化碳(CO)含量(体积分数)/10-6 < |
1 |
0.05 |
二氧化碳(CO)含量(体积分数)/10-6 < |
— |
0.1 |
烃(C1~C3)含量(体积分数)/10-6 < |
1 |
0.05 |
水分(H2O)含量(体积分数)/10-6 < |
3 |
0.2 |
总杂质含量(体积分数)/10-6 ≤ |
5 |
0.6 |
应用:晶圆清洗、在CVD过程中生成氮化硅或氮化镓等薄膜 |
| | 点击次数:2635 | |
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